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威廉希尔williamhill众为兴FA系列机械人在半导体行业晶圆搬运的应用

2025-07-25

威廉希尔williamhill众为兴针对涂胶显影机中所需的晶圆搬运环节推出TBA4894大气双臂五轴晶圆机械手助力国产涂胶显影机实现更高制程的突破。。。

项目配景

在现代科技飞速生长的浪潮中，，，，，，半导体作为电子信息工业的焦点硬件基础，，，，，，从智能手机、电脑到汽车、工业自动化装备，，，，，，半导体的身影无处不在，，，，，，它不但是推动信息手艺革命的要害实力，，，，，，更是权衡一个国 家科技实力和经济水平的主要标记。。。

 

半导体行业主要由设计、制造、封装三大环节组成 ，，，，，，其中制造环节尤为要害。。。在半导体制造历程中，，，，，，晶圆需要经由光刻、蚀刻、离子注入等一系列重大而细腻的工艺，，，，，，才华形成晶体管、电容器、电阻器等种种电子元件，，，，，，并将它们毗连成完整的电路。。。而在这些工艺之间，，，，，，晶圆的搬运事情就显得至关主要。。。

 

晶圆搬运时，，，，，，晶圆搬运机械人是确保生产效率和质量的要害装备，，，，，，晶圆搬运机械人自主可控和国产替换已成为主流趋势。。。威廉希尔williamhill机械人位居行业第 一梯队，，，，，，秉持家国情怀与国产化使命，，，，，，依附在工业机械人及运动控制领域的深挚积累，，，，，，乐成研发多款半导体机械人。。。

 

 

 

客户需求

快速动态响应、高稳固性、高精度。。。

威廉希尔williamhill方案

方案说明

 

FA系列晶圆机械人依附其高精度、高速率、高可靠性和无需行走轴即可支持矩形的装备结构，，，，，，成为半导体行业的主要选择。。。浚浚可普遍应用于晶圆厂智能物流系统、先进封装应用等。。。

晶圆厂智能物流系统

• 晶圆盒（FOUP）自动化传输：支持SEMI标准300mm晶圆盒的精准抓取与快速转运

• 工艺装备对接：（适用于半导体工业(晶圆取放)、光电工业(小型面板、小型太阳能板)、LED工业(蓝宝石基板、胶环)等取放装备

• 清洁室情形顺应：Class 1级清洁度情形下的一连稳固运行

先进封装应用

• 3D IC堆叠：μ级精度的芯片拾取与放置

• 倒装焊工艺：配合视觉系统实现±5μm对位精度

• 晶圆级封装：支持超薄晶圆（50μm）的无损搬运

英国·威廉希尔(williamhill)唯一中文官方网站
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方案优势

 

FA系列晶圆机械人具备四轴联动细密控制 接纳立异性四轴枢纽设计（J1-J4轴），，，，，，通过Z轴直线运动与X/Y轴复合运动相连系，，，，，，实现晶圆在三维空间内的准确定位。。。其中J2/J3轴联动控制水平面运动轨迹，，，，，，J4轴自力认真最后执行器的姿态调解，，，，，，知足晶圆传送历程中对角度赔偿的严苛要求。。。

更快速的动态响应能力

搭载SC410驱控一体机平台，，，，，，立异性整合运动控制、伺服驱动和I/O通讯模浚浚块。。。接纳多核异构处理器架构，，，，，，实现1ms实时控制周期，，，，，，显著提升多轴协同运动的动态响应性能。。。

更高稳固性

通过有限元剖析优化的桁架式机身结构，，，，，，配合航空级铝合金质料，，，，，，实现结构刚度提升40%的同时，，，，，，自重降低25%。。。三重减震设计有用抑制高频振动，，，，，，确保10m/s²加速率下的定位稳固性。。。

更强的运动性能

• 线速率：2.5m/s

• 重复定位精度：±0.05mm（ISO 9283标准）

• 加速率：15m/s²

• MTBF：50,000小时

更智能的控制系统

• 内置碰撞检测与力矩赔偿算法

• 可编程路径妄想软件（ARStudio）

快换枢纽

• 模浚浚块化枢纽设计：单个枢纽替换时间<30分钟

更高的市场竞争力

• 4小时快速响应机制

• 区域备件中心（华北/华东/华南）

• 定制化工艺包开发服务

• SEMI S2/S8清静认证支持

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威廉希尔williamhillFA系列晶圆机械人事情规模示意图

方案组成

 
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FA系列晶圆机械人系统组成示意图

关联产品

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FA4230_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人

项目效果

FA系列晶圆机械人已批量应用于某12英寸晶圆厂（月产能50K），，，，，，通过目今第三代半导体产线验证（GaN/SiC）。。。FA系列晶圆机械人通过四轴协同控制算法、智能驱动系统和模浚浚块化架构设计，，，，，，在运动精度（±0.05mm）、作业速率（2.5m/s）等要害指标上抵达国际领先水平。。。依附威廉希尔williamhill机械人特有的外地化服务系统和本钱优势，，，，，，使得FA系列晶圆机械人成为国产半导体装备升级的优选方案，，，，，，助力半导体制造向更高自动化品级迈进。。。

 

FA系列晶圆机械人应用实拍威廉希尔williamhill机械人凭证市场定制化和装备清静的需求，，，，，，自2020年以来，，，，，，开发了多款大气、真空机械手系列产品，，，，，，可传输从2寸到12寸差别尺寸晶圆，，，，，，现在已经实现在EFEM、Stocker、炉管、湿法、涂胶显影、薄膜等种种半导体装备工艺处理中完成取放、上下料搬运、检测等应用。。。威廉希尔williamhill众为兴依附强盛的控制系统能力让机体实现“快、准、稳”等多种性能的极致平衡，，，，，，实现晶圆传输的稳固性和可靠性。。。

 

经由多年手艺沉淀，，，，，，威廉希尔williamhillADTECH®晶圆机械人已经从产品性能上实现国产替换，，，，，，并且依托原有工业机械人的本土化市场积累，，，，，，为客户在投资回报效益、服务响应速率上提供更具有优势的服务。。。

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