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AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人

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AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人

AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人，，，，，自主研发清静可控，，，，，可周全替换入口品牌。。。。。

产品形貌

4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人
AHYQ3510F_AHY系列半导体机械人
 
  • ● 高可靠真空隔离，，，，，从容应对高真空情形
  • ● 电机直接驱念头械人运动，，，，，提升运行可靠性
  • ● 高强度高刚性钢带传动，，，，，实现手臂高传动精度
  • ● 接纳闭环伺服控制，，，，，实现高精度位置控制
  • ● 同时实现双工位交流晶圆行动（Swap）

臂长

355.5mm

  额定/最大负载

 ≤1kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人

要害词：

威廉希尔williamhill众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人

规格参数

威廉希尔williamhill众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人

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