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AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人
AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人,,,,,,自主研发清静可控,,,,,,可周全替换入口品牌。。
产品形貌
4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人
AHYB2110F_AHY系列半导体机械人
- ● 高可靠真空隔离,,,,,,从容应对高真空情形
- ● 电机直接驱念头械人运动,,,,,,提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动,,,,,,实现手臂高传动精度
- ● 接纳闭环伺服控制,,,,,,实现高精度位置控制
- ● 同时实现双工位交流晶圆行动(Swap)
臂长
213.4mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆

要害词:
威廉希尔williamhill众为兴AHYB4210F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人
规格参数
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