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AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人

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AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人

AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人,,,,,,自主研发清静可控,,,,,,可周全替换入口品牌。。

产品形貌


4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人
AHYB2110F_AHY系列半导体机械人
 
  • ● 高可靠真空隔离,,,,,,从容应对高真空情形
  • ● 电机直接驱念头械人运动,,,,,,提升运行可靠性
  • ● 高强度高刚性钢带传动,,,,,,实现手臂高传动精度
  • ● 接纳闭环伺服控制,,,,,,实现高精度位置控制
  • ● 同时实现双工位交流晶圆行动(Swap)

臂长

213.4mm

  额定/最大负载

 ≤1kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人

要害词:

威廉希尔williamhill众为兴AHYB4210F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人

规格参数

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