TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人
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- 商品名称: TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人
- 产品: 半导体机械人
- 应用: 大气晶圆系列
- 负载: 2-5KG
- 臂长: 200-499mm
TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人，， ，，自主研发清静可控，， ，，可周全替换入口品牌。。。。。。
5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人TBA4894D_TBA系列半导体机械人- ● 接纳闭环伺服控制
- ● 可凭证装备结构定制臂长及Z轴行程
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
- ●可选最后执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长
200/260/320/400mm
额定/最大负载
3kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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要害词：
TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人
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产品分类
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