AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机械人
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- 商品名称: AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机械人
- 产品: 半导体机械人
- 应用: 真空晶圆系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 200-499mm
AHYR2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人，，，自主研发清静可控，，，可周全替换入口品牌。。。
4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机械人AHYR2110F_AHY系列半导体机械人- ● 高可靠真空隔离，，，从容应对高真空情形
- ● 电机直接驱念头械人运动，，，提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动，，，实现手臂高传动精度
- ● 接纳闭环伺服控制，，，实现高精度位置控制
臂长
213.4mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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要害词：
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联系方式
智慧电梯：400-820-7921
变频驱动：400-821-0325
运动控制：400-809-6368
多枢纽机械人：400-920-0275
SCARA机械人：400-168-2718
邮箱：market@stepelectric.com
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