AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人
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- 商品名称: AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人
- 产品: 半导体机械人
- 应用: 真空晶圆系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 200-499mm
AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人，，，自主研发清静可控，，，可周全替换入口品牌。。。。
4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人AHYQ3510F_AHY系列半导体机械人- ● 高可靠真空隔离，，，从容应对高真空情形
- ● 电机直接驱念头械人运动，，，提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动，，，实现手臂高传动精度
- ● 接纳闭环伺服控制，，，实现高精度位置控制
- ● 同时实现双工位交流晶圆行动（Swap）
臂长
355.5mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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要害词：
AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机械人
AHYQ3510F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机械人，，，自主研发清静可控，，，可周全替换入口品牌。。。。
产品分类
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