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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人,,自主研发清静可控,,可周全替换入口品牌 。。。 。。。

产品形貌


3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人
VA5204_VA系列半导体机械人
 
  • ● 可凭证装备结构定制臂长及Z轴行程
  • ● 接纳闭环伺服控制
  • ● 最后执行器类型:下托式
  • ● 可选配免电池绝对式编码器

  •  

臂长

520mm

  额定/最大负载

 2kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

要害词:

威廉希尔williamhill众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

规格参数

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