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TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人
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TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人,,,自主研发清静可控,,,可周全替换入口品牌 。。。 。。

产品形貌


3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人
TA4030F-01-03_TA系列半导体机械人
 
  • ● 接纳闭环伺服控制
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可凭证装备结构定制底座和舒展轴行程
  • ● 最后执?器类型:下托式

臂长

200/260/320/400mm

  额定/最大负载

 3kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机械人

要害词:

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规格参数

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