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JC48B_3轴大气晶圆校准器

JC48B_3轴大气晶圆校准器
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  • JC48B_3轴大气晶圆校准器

JC48B_3轴大气晶圆校准器

JC48B_3轴大气晶圆校准器,,自主研发清静可控,,可周全替换入口品牌。。。 。。

产品形貌


3轴大气晶圆校准器
JC48B_JC系列半导体机械人
 
  • 接纳闭环伺服控制
  • 晶圆牢靠方式:真空吸附

校准晶圆尺寸

Φ100-Φ200mm

校准精度

晶圆中心:±0.1mm
晶圆缺口:±0.1°

校准时间

3sec

威廉希尔williamhill众为兴JC48B_3轴大气晶圆校准器

要害词:

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规格参数

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