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FA4230_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人

FA4230_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人
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FA4230_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人

FA4230_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人,,,自主研发清静可控,,,可周全替换入口品牌。。

产品形貌


单轴大气晶圆片盒搬运机械人
FA4230_FA系列半导体机械人
 
  • ●接纳闭环伺服控制
  • ●可凭证装备结构定制臂长和Z轴行程
  • ●可选配免电池绝对式编码器
  • ●可选mapping传感器类型:对射式、反射式
  • ●可选最后执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

臂长

420mm

额定/最大负载

4kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴FA4230F_4轴大气水平多枢纽型单臂晶圆搬运机械人

要害词:

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规格参数

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